| Materiaail | Teräs, ruostumanton teräs, ei-rautametallit, kereaamit, kvartsi, lasi | |
|---|---|---|
| Min. | Maks. | |
| Kappaleenkoko | n. Ø 10 x 10 mm (pituus x leveys) | Ca. Ø 240 mm tai. 240 x 240 mm (pituus x leveys) |
| Suoruus | Tasomaisuus | |
| Mittatarkkuus | 0,1...0,4µm | 1...2µm |
| Rt - arvo Ra - arvo Rz - arvo | ||
| Pinnan laatu (R) | 0,2...0,4µm 0,016...0,04µm 0,17...0,3µm | |